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针对中芯国际与光刻机公司阿斯麦签下的12亿美元采购单，荷兰阿姆斯特丹时间3月3日，阿斯麦发布公告称，该采购协议所涉内容是DUV光刻设备。
和高端光刻机EUV(极紫外光刻技术)不同，DUV(深紫外线光刻技术)属于阿斯麦公司中端产品。3月4日，一位中芯国际人士对记者表示，DUV光刻设备能支撑中芯国际在传统制程产能上的扩产，为行业释放一部分传统产能，传统产能当下全球紧缺。另一方面，该人士称，采购DUV无法很好地推进公司先进工艺的研发，例如例如7nm/5nm芯片。
实际上，中芯国际大部分收入来自传统产能工艺，这些产能主要用于制造电源管理、超低功耗、射频芯片等。根据2020年财报会，中芯国际的传统产能在去年实现量价齐升，公司曾一度扩产仍未满足客户需求。由此来看，DUV帮助扩产传统产能，对中芯国际是一项利好，而传统产能的盈利性，也代表了中芯国际在短期的一个增长空间。
上述人士称，另一方面，DUV设备却无法很好地推进公司先进工艺的研发，因为若一项先进工艺只有DUV设备支持，则无法做出良率及格的芯片，也无法达到国际大厂的性能水平。该人士称，如果仅从企业经营角度看，该类先进芯片也可以通过降价方式出售，成为很多国产厂家退而求其次的选择。
该人士称，相比之下，EUV设备(极紫外光刻技术)则可以很好地推升先进工艺的良率和性能。根据公开材料，目前EUV设备正受国际协议限制形成了出口管制。
