在芯片的制造过程中,需要给晶圆涂上光刻胶,再用光刻机进行刻录。而光刻胶按照工艺的不同,也分为分别为g线、i线、KrF、ArF、EUV。
g线、i线主要用于250nm以上工艺,相对落后;KrF一般用于250nm-130nm工艺;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工艺;EUV光刻胶就是配合EUV光刻机,主要用于7nm及以下工艺。
在光刻胶领域,国内是比较落后的,总体自给率不足10%,其中分开来看,g线/i线自给率约为20%,KrF光刻胶的自给率不足5%,至于ArF、EUV光刻胶,不好意思,无法生产,100%得靠进口,自给率为0%。
而日本是全球光刻胶领域最牛的国家,在g线/i线、KrF、ArF、EUV胶市场中市占率分别为61%、80%、93%,100%。
所以日本厂商的光刻胶是全球的紧缺货,一旦日本不供应光刻胶,全球的芯片产业都要受到影响。
而近日,这样的事情终于发生了,据媒体报道称,由于KrF光刻胶产能受限,而全球芯片产能却不断扩产,再加上2月份的日本福岛地震,影响了光刻胶的产能。
所以日本的信越化学开始中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶,甚至开始向部分中小晶圆厂停供KrF光刻胶,后续可能还会有更多的厂商,甚至会牵涉到ArF光刻胶的供应。
而KrF用于250nm-130nm工艺,ArF用于130nm-14nm工艺,这也正是国内众多晶圆厂使用的工艺,业内人士预测未来国内多家晶圆厂或将面临KrF、ArF光刻胶大缺货的处境。
目前中国正在大力发展半导体,不知道这件事情,有没有让大家感受到丝丝凉意?
事实上,在半导体材料、半导体设备等领域,目前国内的产业链确实还是比较落后的,依赖国外的地方也比较多,所以接下来,我们不仅仅要发展芯片制造本身,还需要加强对上游材料、设备等的重视和投入,你觉得呢?